品名 | 规格 | 纯度 | 密度 (g/cc,300K) |
熔点 (℃) |
工艺 |
Ag靶材 | 按 需 定 制 |
4N | 10.3 | 熔炼 | |
Al靶材 | 5N | 2.702 | 熔炼 | ||
Si靶材 | 5N | 2.33 | 1420 | 热喷涂 | |
Nb靶材 | 3N5 | 8.57 | 2467 | EB熔炼 | |
SiO2靶材 | 4N5 | 2.202 | 1713 | 熔炼 | |
Ta靶材 | 3N5 | 16.65 | 2996 | 熔炼 | |
Ta2O5靶材 | 3N5 | 5.2 | 1872 | 烧结 | |
ZnS靶材 | 4N | 热压 |