品名 | 规格 | 纯度 | 密度 (g/cc,300K) |
熔点 (℃) |
工艺 |
ITO靶材 | 按 需 定 制 |
4N | 7.15 | 通氧烧结 | |
Si靶材 | 5N | 2.35 | 1420 | 提拉; 喷涂 |
|
Nb靶材 | 3N5 | 19.3 | 2468 | 熔炼 | |
Mo靶材 | 5N | 10.22 | 2610 | 烧结, 熔炼 |
|
Ta靶材 | 4N | 16.65 | 2996 | 熔炼 | |
Al靶材 | 4N | 2.702 | 660 | 挤压, 熔炼 |
|
Cr靶材 | 4N | 7.19 | 1857 | 热等静压 |
品名 | 规格 | 纯度 | 密度 (g/cc,300K) |
熔点 (℃) |
工艺 |
ITO靶材 | 按 需 定 制 |
4N | 7.15 | 通氧烧结 | |
Mo靶材 | 3N5 | 10.22 | 1420 | 提拉; 喷涂 |
|
Al靶材 | 5N | 2.702 | 2468 | 熔炼 | |
Cu靶材 | 4N | 8.9 | 660 | 挤压, 熔炼 |
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Ti 靶材 | 4N | 7.8 | 1857 | 热等静压 |