磁性材料如何选择靶材厚度

　　磁性材料主要包含铁钴镍锰4种，主要应用于高温超导材料和稀土发光材料方面。
　　铂、铁、钴、镍等的合金，铱锰、铁铂、铂镍等也是做磁性功能薄膜和磁性功能材料、磁记录等行业的必要材料。
　　磁性材料像铁、钴、镍、锰等靶，一般建议做薄些，厚度不超过4mm，否则不容易起辉。
　　原理：铁磁性靶材会对磁控靶的溅射造成影响，由于大部分磁力线从铁磁性材料内部通过，使靶材表面磁场减少，需要很高电压才能让靶面点火起辉。除非磁场非常的强，否则磁性靶材必须比非磁性材料要薄，才能起辉和正常运行(永磁结构的Ni靶的典型值<4px，磁控靶非特殊设计最大值一般不宜超过3mm，Fe，co靶的最大值不超过2mm；电磁结构的靶可以溅射厚一些的靶材，甚至可达6mm厚)。 
　　正常工作时，磁控靶靶材表面的磁场强度为0.025T~0.05T左右；靶材溅射刻蚀即将穿孔时，其靶材表面的磁场强度大为提高，接近或大于0.1T左右。